来源:AIP可以优化磁场来提高激光驱动等离子体产生的极紫外辐射量。极紫外 (EUV) 光刻技术使用激光驱动等离子体产生,对于我们扩大半导体制造规模至关重要。EUV 通常由激光产生的等离子体 (LPP) 产生,但研究人员尚未充分研究产生这些等离子体的一种关键方法的影响:强磁场。Kim 等人模拟了强磁场下 LPP 的特性,证明了磁场可以显著改变等离子体特性,从而影响 EUV 的产生。研究团队发现,LP
了解详情 2025-04-11
来源:DIGITIMES ASIA近期,谷歌宣布其在新加坡的最新数据中心和云区域园区扩建工程已竣工。这一里程碑使该公司在新加坡的技术基础设施总投资达到 50 亿美元,高于 2018 年的 8.5 亿美元。这一消息是在“与谷歌共同打造可持续数据中心”活动上宣布的,新加坡通讯及新闻部高级政务部长 Janil Puthucheary 博士在会上发表了讲话。新加坡谷歌数据中心拥有超过 500 名员工。“数
了解详情 2025-04-11
弥费科技近期宣布已在两家12吋晶圆厂完成自动物料搬运系统(AMHS)的验收,成为国内首家在晶圆厂领域打破海外长期垄断的国产AMHS供应商。在晶圆厂整厂AMHS系统级验收上,弥费科技已累计完成一家8吋碳化硅晶圆厂,一家12吋IDM晶圆制造厂和一家12吋标准代工厂国产化验证平台,并打通了验证平台和量产代工厂之间的衔接,实现了该验证平台上的所有国产化晶圆生产设备和量产线之间的无缝切换,既完成了国产化率和
了解详情 2025-04-11
来源:Nikkei Asia日本东芝集团还计划在印度扩建输电技术工厂日本东芝公司高管表示,东芝计划在未来三年投入约 1000 亿日元(约合6.4 亿美元)的资本来拓展其半导体业务,自私有化以来,这家日本工业集团一直在寻求新的增长点。高级执行副总裁Koji Ikeya近期表示:“我们预计全公司总投资额将与过去三年保持相同水平,但我们将把投资引导到成长型业务上。”此外,Ikeya还担任私募股权公司 J
了解详情 2025-04-11
日前,日本三井化学宣布将在其岩国大竹工厂设立碳纳米管 (CNT) 薄膜生产线,开始量产半导体最尖端光刻机的零部件产品(保护半导体电路原版的薄膜材料“Pellicle”的新一代产品)。据悉,此种CNT薄膜可以实现92%以上的高EUV透射率和超过1kW曝光输出功率的光阻能力。三井化学预期年产能力为5000张,生产线预计于2025年12月完工,可为ASML将推出的下一代高数值孔径、高输出EUV光刻机提供
了解详情 2025-04-10